第353章 林教授错了？让他错个高兴！ （2 / 2）

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要是林教授错了怎么办？

就凭他加入光机所后，不到一个月时间，就让EUV 反射镜多层膜跟上国际一流指标。

就算接下来林教授是错，那也得让他错个高兴，错个酣畅淋漓！

毕竟......

要是万一林教授又从错误中，发现新的灵感呢？

就算是错误，那岂不是也价值千金？

这种说法，是丝毫不夸张的。

华夏苦高端芯片产业久矣！！！

AI，超级计算机......

电子信息时代，掌握了光刻技术，才能够将这些高端产业走得更远！

早上九点。

当林决来到实验室，人已经全部到齐了。

“林教授，设备已经按照您的要求改完了，今天咱们的任务是什么？”

看到他来，蒋墨跑过来打了个招呼。

“按照之前的规划，直接上整机先试试。”

林决口中的整机并非是说光刻机。

而是在实验室内，将拥有林氏函子光学变式的模型，在各个大型设备上完成流程闭环。

“今天就上吗？不用再优化一下流程？”蒋墨有些惊讶。

林决点了点头，很是确定，

“没事，先跑一遍再说吧。”

“那行！”

他都如此说了，蒋墨便也不再反对。

然后在黄所，蒋墨，陈望山等人的组织下，第一次用林氏函子光变式映射模型的整机闭环开始了。

光学源头完成装配校准，真空建立、光路调试、硅片上片、曝光、刻蚀配套联调、检测晶圆良率.....

各个关卡，都有专业的工程师盯着。

第一次流程需要的时间挺多的，需要整整72个小时！

........

转眼。

三天时间过去。

光机所会议室内。

第一次整机闭环的检测被分析组公布出来。

“从整体来看，本次跑机结果良好，但在函子输出端，132路高电压情况下......

波前误差会开始增大，从原本的0.18，直接跳到0.24。”

数据分析组组长于志明将表格内的数据标红。

“我们初步分析，这是因为函子输出太激进，控制周期跟不上的原因......”

此话一出。

会议室里立马开始躁动起来。

从于志明公布的整个整机流程来看。

林氏函子光学变式映射，是完全能够跑通整机，并且对比之前拥有极大进步的。

不过也因为函子输出端给的指令超频。

导致相应设备跟不上，最后导致光波偏振，误差增大了。

陈望山打开电脑上详细的数据看了看，

“光学采样只有6HZ.....对比输出端的10HZ确实少了一些，在高电压情况下，误差确实会增大。”

蒋墨凑过来看了眼，眼神中带着不敢置信，

“.....也就是说，咱们攒出来最好的设备，都还做不到匹配这个模型吗？”

此时。

台上，站在于志明不远处的林决听到这话，不由得开玩笑道，

“蒋老您想夸我直接说就行，不用弯弯绕绕的。”

蒋墨：“？？？”

“陈望山，你这徒弟有点过分了啊。”

陈望山看了蒋墨一眼，都懒搭理，而是直接对林决问着，

“这个问题应该有办法解决吧？我看你这三天都在忙着做改进脚本。”

闻言，卢敬尧，房怀年几人一惊。

什么！？

已经想好方案了？

这几天，他们基本全天候盯着平台。

所以虽然知道林决在办公室忙事儿。

但林决具体干什么，他们却是不清楚的。

蒋墨：

“真的假的？”

房怀年：

“你提前准备好方法了？这个问题也在你的预料之中？”