第354章 胡闻洲：回旋镖来得太快就像龙卷风 （1 / 2）

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两人说话的时候。

核心专家组的众人目光，也都带着几分期许聚焦在了林决身上。

按理说.....

这种事情是不该就指望林决一个人来的。

要不然的话，不显得他们没用了吗？

但是吧......话又说回来了。

目前为止，林教授的方案完全没毛啊！

确实比他们提供的好太多了！

特别是林氏函子光学变式，在测试中的表现，完全刷新了众人对EUV多层膜误差控制的认知！

紧接着，众人便见台上的林决轻轻一笑，

“确实。”

闻言，陈望山不由得笑了出来。

至于房怀年几人，则是满脸讶异。

这小子......还真他娘是个人才啊！

整机闭环没跑完，你也敢提前做优化方案？

万一中间有超出预料的事情发生，那你不白干了吗？

不过.....

他们不知道的是，林决早已经通过胡老的手稿，在脑海中做过工程预演。

虽然最后他推演出来的数据，会和现实数据有着一定误差。

但却能够清晰的看到问题在哪里......

之后。

等整机闭关流程结束。

只需要通过相应的数据，再进行调整的就行。

两边同时进行。

还能够省下一部分时间。

当初面对胡闻洲时，他说他会让胡老看到那台能够和世界一流水平并驾的光刻机。

所以必须争分夺秒了。

而现在。

整机跑完，结果出来。

果然......

由于映射输出端的频率太快，在高电压情况下光路产生偏振，误差也就随之增大了......

在得到林决回答后，卢敬尧立马好奇问着，

“用的什么方法，压频率还是降电压？亦或者通过控制曝光来解决？”

林决轻轻一笑，当即给否了，“都不选。”

“？？？”

“？？？”

“？？？”

蒋墨侧过头看着他，又是好奇又是疑惑，

“都不选？那你想干啥？”

按照他们搞了大半辈子研究的惯性思维来讲。

目前只能调控这三个变量，然后再根据整机环境，慢慢做进一步调整。

林决平静开口，

“我们花了二十多天，把误差从 1.2 压到 0.18，现在又为了高电压下的稳定性，再退回去吗！？

我不想这样做......”

会议室安静下来。

所有人目光放在林决身上。

于志明皱眉，

“那您的意思是......”

林决并未回答。

只是在电脑打开一个文档，然后将把 132 路的驱动时序图调了出来。

此时大屏幕上，无数表示着方波的红点全挤在一处。

“你们看，132 路同时跳会如何呢？”

他点了下鼠标，旁边弹出三行数据。

【电源瞬时跌落：4.3%】

【通道间串扰：2.1%】

【镜面局部应力：增大】

“在这种情况中，串扰和镜面局部应力增大，会导致双折射出现，然后产生偏振，出现误差。”

蒋墨想了想，也提出想法，“那要不将电压器错开呢？”

陈望山很快便摇了摇头，

“不行......错开只能解决电源和串扰，解决不了应力，因为应力是叠加态，就算错开，总应力依旧存在。”